VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
n-Si<110> CZ  Mitsubishi lot# 280292-00-417 90TOA
1
Fresh bulk-edge, ion etched 20sec at 3KV
NORM
REGULAR
6
0
0
0
0
0
6
Fresh bulk-edge, ion etched 20sec at 3KV
n-Si<110> CZ  Mitsubishi lot# 280292-00-417 90TOA
2003
5
10
14
37
51
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.7
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
1000
-1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
3
4.00E-06
0
0
0
0
2002
17
18826
0.0603073
0.288006
827
0.288006
829
0.287179
768
0.286357
888
0.285538
824
0.284724
871
0.283913
802
0.283106
855
0.282304
848
0.281505
772
0.28071
844
0.279919
804
0.279132
897
0.278348
845
0.277569
815
0.276793
835
0.276021
869
0.275252
863
0.274487
880
0.273726
928
0.272968
971
0.272214
964
0.271464
1013
0.270717
960
0.269973
910
0.269233
879
0.268497
909
0.267764
828
0.267034
849
0.266308
828
0.265585
843
0.264866
807
0.26415
829
0.263437
819
0.262727
814
0.262021
843
0.261318
823
0.260618
792
0.259922
833
0.259228
814
0.258538
828
0.257851
808
0.257167
873
0.256486
786
0.255808
808
0.255134
820
0.254462
810
0.253793
859
0.253128
857
0.252465
853
0.251805
805
0.251149
828
0.250495
866
0.249844
847
0.249196
870
0.248551
844
0.247909
879
0.247269
846
0.246633
877
0.245999
862
0.245368
871
0.24474
884
0.244114
835
0.243492
864
0.242872
837
0.242254
929
0.24164
888
0.241028
881
0.240418
949
0.239812
946
0.239208
839
0.238606
900
0.238007
941
0.237411
917
0.236817
925
0.236226
895
0.235637
940
0.235051
879
0.234467
923
0.233886
937
0.233308
968
0.232731
944
0.232157
909
0.231586
994
0.231017
976
0.23045
948
0.229886
952
0.229324
983
0.228765
957
0.228208
1005
0.227653
937
0.2271
981
0.22655
998
0.226002
986
0.225456
988
0.224913
969
0.224372
967
0.223833
962
0.223296
985
0.222761
992
0.222229
988
0.221699
1036
0.221171
1086
0.220645
1064
0.220121
1038
0.219599
936
0.21908
1013
0.218563
1054
0.218047
1062
0.217534
1031
0.217023
1029
0.216514
1108
0.216007
1027
0.215502
1046
0.214999
990
0.214498
1047
0.213999
1039
0.213502
1072
0.213007
1035
0.212514
1082
0.212022
1030
0.211533
1071
0.211046
1097
0.210561
1009
0.210077
1072
0.209596
1096
0.209116
1045
0.208638
1078
0.208163
1084
0.207688
1078
0.207216
1101
0.206746
1099
0.206277
1166
0.205811
1080
0.205346
1025
0.204883
1138
0.204422
1151
0.203962
1156
0.203504
1115
0.203048
1165
0.202594
1135
0.202141
1191
0.201691
1184
0.201242
1115
0.200794
1081
0.200349
1135
0.199905
1189
0.199462
1149
0.199022
1168
0.198583
1169
0.198146
1146
0.19771
1139
0.197276
1141
0.196844
1138
0.196413
1101
0.195984
1230
0.195556
1171
0.19513
1173
0.194706
1197
0.194283
1225
0.193862
1184
0.193443
1235
0.193024
1225
0.192608
1217
0.192193
1195
0.19178
1243
0.191368
1262
0.190957
1245
0.190548
1240
0.190141
1259
0.189735
1281
0.189331
1303
0.188928
1286
0.188526
1275
0.188126
1325
0.187728
1261
0.18733
1303
0.186935
1240
0.18654
1284
0.186148
1321
0.185756
1296
0.185366
1265
0.184978
1302
0.18459
1322
0.184205
1359
0.18382
1382
0.183437
1277
0.183055
1349
0.182675
1338
0.182296
1320
0.181918
1296
0.181542
1317
0.181167
1321
0.180793
1353
0.180421
1356
0.18005
1318
0.17968
1323
0.179312
1294
0.178945
1410
0.178579
1371
0.178214
1337
0.177851
1377
0.177489
1366
0.177128
1426
0.176769
1357
0.176411
1322
0.176054
1448
0.175698
1454
0.175343
1342
0.17499
1364
0.174638
1392
0.174287
1394
0.173937
1397
0.173589
1494
0.173242
1446
0.172896
1471
0.172551
1361
0.172207
1477
0.171864
1384
0.171523
1422
0.171183
1463
0.170844
1481
0.170506
1466
0.170169
1483
0.169833
1497
0.169499
1378
0.169165
1512
0.168833
1410
0.168502
1451
0.168172
1469
0.167843
1502
0.167515
1475
0.167189
1508
0.166863
1470
0.166538
1492
0.166215
1513
0.165893
1498
0.165571
1471
0.165251
1565
0.164932
1564
0.164614
1569
0.164297
1543
0.163981
1536
0.163666
1466
0.163352
1528
0.163039
1587
0.162727
1581
0.162416
1551
0.162106
1595
0.161797
1517
0.161489
1618
0.161182
1565
0.160877
1607
0.160572
1595
0.160268
1620
0.159965
1585
0.159663
1596
0.159362
1521
0.159062
1553
0.158763
1650
0.158465
1699
0.158168
1610
0.157872
1601
0.157577
1620
0.157283
1615
0.156989
1604
0.156697
1646
0.156406
1613
0.156115
1641
0.155825
1606
0.155537
1711
0.155249
1735
0.154962
1655
0.154676
1667
0.154391
1787
0.154107
1714
0.153824
1633
0.153542
1705
0.15326
1750
0.15298
1690
0.1527
1588
0.152421
1713
0.152143
1697
0.151866
1724
0.15159
1688
0.151315
1690
0.15104
1769
0.150767
1806
0.150494
1653
0.150222
1775
0.149951
1740
0.149681
1834
0.149411
1752
0.149143
1786
0.148875
1758
0.148608
1766
0.148342
1744
0.148077
1791
0.147812
1746
0.147548
1800
0.147285
1690
0.147023
1813
0.146762
1834
0.146502
1785
0.146242
1866
0.145983
1762
0.145725
1864
0.145468
1751
0.145211
1813
0.144955
1846
0.1447
1882
0.144446
1853
0.144193
1886
0.14394
1879
0.143688
1949
0.143437
1843
0.143186
1820
0.142937
1941
0.142688
1970
0.142439
1857
0.142192
1857
0.141945
1980
0.141699
1901
0.141454
1923
0.141209
1956
0.140965
1900
0.140722
1926
0.14048
1942
0.140238
1966
0.139997
1938
0.139757
1909
0.139518
1980
0.139279
1942
0.139041
1941
0.138803
1961
0.138566
1997
0.13833
1927
0.138095
1935
0.13786
2019
0.137626
1985
0.137393
1972
0.13716
1992
0.136928
2013
0.136697
1934
0.136466
2033
0.136236
1987
0.136007
1971
0.135779
2042
0.135551
1949
0.135323
2065
0.135097
2012
0.134871
2089
0.134645
1987
0.13442
2043
0.134196
1993
0.133973
2030
0.13375
2106
0.133528
2111
0.133306
2006
0.133085
2031
0.132865
2092
0.132645
2164
0.132426
2058
0.132208
2016
0.13199
2104
0.131773
2113
0.131556
2147
0.13134
2137
0.131125
2139
0.13091
2181
0.130696
2114
0.130483
2185
0.13027
2144
0.130057
2144
0.129846
2107
0.129634
2081
0.129424
2147
0.129214
2205
0.129004
2235
0.128795
2201
0.128587
2234
0.12838
2168
0.128172
2167
0.127966
2325
0.12776
2210
0.127555
2189
0.12735
2261
0.127145
2161
0.126942
2288
0.126739
2297
0.126536
2253
0.126334
2264
0.126132
2257
0.125931
2236
0.125731
2241
0.125531
2224
0.125332
2284
0.125133
2235
0.124935
2336
0.124737
2335
0.12454
2349
0.124344
2297
0.124147
2317
0.123952
2347
0.123757
2333
0.123562
2296
0.123368
2327
0.123175
2352
0.122982
2343
0.12279
2377
0.122598
2420
0.122406
2382
0.122215
2360
0.122025
2360
0.121835
2359
0.121646
2335
0.121457
2418
0.121269
2466
0.121081
2412
0.120893
2432
0.120707
2379
0.12052
2455
0.120334
2401
0.120149
2510
0.119964
2459
0.11978
2437
0.119596
2500
0.119412
2446
0.119229
2506
0.119047
2512
0.118865
2366
0.118683
2385
0.118502
2551
0.118322
2535
0.118142
2448
0.117962
2579
0.117783
2538
0.117604
2517
0.117426
2512
0.117248
2509
0.117071
2558
0.116894
2565
0.116718
2560
0.116542
2606
0.116366
2548
0.116191
2537
0.116017
2561
0.115843
2691
0.115669
2626
0.115496
2612
0.115323
2614
0.115151
2583
0.114979
2729
0.114807
2656
0.114636
2624
0.114466
2638
0.114295
2483
0.114126
2646
0.113956
2554
0.113788
2531
0.113619
2642
0.113451
2605
0.113284
2677
0.113116
2642
0.11295
2504
0.112783
2744
0.112617
3010
0.112452
3856
0.112287
3989
0.112122
3145
0.111958
2614
0.111794
2684
0.111631
2544
0.111468
2593
0.111305
2547
0.111143
2625
0.110981
2601
0.11082
2560
0.110659
2688
0.110498
2578
0.110338
2659
0.110178
2529
0.110019
2567
0.10986
2594
0.109701
2598
0.109543
2626
0.109385
2714
0.109228
2565
0.109071
2656
0.108914
2570
0.108758
2655
0.108602
2674
0.108447
2702
0.108292
2650
0.108137
2702
0.107982
2616
0.107829
2704
0.107675
2683
0.107522
2563
0.107369
2700
0.107216
2646
0.107064
2816
0.106912
2602
0.106761
2728
0.10661
2688
0.106459
2763
0.106309
2729
0.106159
2757
0.10601
2772
0.105861
2749
0.105712
2725
0.105563
2687
0.105415
2720
0.105267
2766
0.10512
2850
0.104973
2730
0.104826
2759
0.10468
2715
0.104534
2894
0.104388
2749
0.104243
2794
0.104098
2846
0.103953
2844
0.103809
2740
0.103665
2880
0.103522
2764
0.103378
2796
0.103235
2845
0.103093
2793
0.102951
2964
0.102809
2824
0.102667
2884
0.102526
2873
0.102385
2879
0.102245
2827
0.102104
2888
0.101964
2864
0.101825
2959
0.101686
3038
0.101547
2819
0.101408
2858
0.10127
3004
0.101132
2901
0.100994
2927
0.100857
3020
0.10072
2995
0.100583
2881
0.100447
2939
0.100311
2973
0.100175
2937
0.10004
2958
0.0999048
2985
0.09977
2915
0.0996356
2860
0.0995014
2995
0.0993676
2923
0.099234
2994
0.0991008
3034
0.0989679
3131
0.0988353
3061
0.098703
3014
0.098571
3034
0.0984393
3027
0.0983079
3082
0.0981767
3061
0.0980459
3061
0.0979154
3155
0.0977852
3032
0.0976553
3155
0.0975257
3079
0.0973964
3104
0.0972674
3133
0.0971386
3090
0.0970102
3066
0.096882
3087
0.0967542
3128
0.0966266
3123
0.0964993
2986
0.0963723
3090
0.0962456
3107
0.0961192
3108
0.095993
3111
0.0958672
3143
0.0957416
3154
0.0956163
3140
0.0954913
3263
0.0953666
3253
0.0952421
3249
0.095118
3256
0.0949941
3224
0.0948704
3169
0.0947471
3245
0.094624
3236
0.0945012
3223
0.0943787
3197
0.0942564
3258
0.0941345
3284
0.0940128
3345
0.0938913
3160
0.0937701
3245
0.0936492
3316
0.0935286
3327
0.0934082
3495
0.0932881
3420
0.0931683
3356
0.0930487
3347
0.0929294
3305
0.0928103
3256
0.0926915
3299
0.092573
3308
0.0924547
3416
0.0923367
3530
0.092219
3430
0.0921015
3456
0.0919842
3440
0.0918672
3482
0.0917505
3423
0.091634
3469
0.0915178
3529
0.0914018
3408
0.0912861
3410
0.0911707
3552
0.0910554
3458
0.0909405
3508
0.0908257
3464
0.0907113
3479
0.090597
3577
0.0904831
3568
0.0903693
3635
0.0902558
3499
0.0901426
3565
0.0900296
3492
0.0899168
3596
0.0898043
3431
0.089692
3559
0.08958
3626
0.0894682
3701
0.0893567
3549
0.0892453
3680
0.0891343
3727
0.0890234
3642
0.0889128
3716
0.0888024
3832
0.0886923
3781
0.0885824
3721
0.0884727
3756
0.0883633
3749
0.0882541
3849
0.0881451
3649
0.0880364
3850
0.0879279
3670
0.0878196
3765
0.0877115
3783
0.0876037
3863
0.0874961
3884
0.0873887
3733
0.0872815
3857
0.0871746
3787
0.0870679
3876
0.0869614
3937
0.0868552
4065
0.0867492
3903
0.0866434
4082
0.0865378
4083
0.0864324
4022
0.0863272
3914
0.0862223
4009
0.0861176
3870
0.0860131
3877
0.0859088
3770
0.0858048
3717
0.0857009
3825
0.0855973
3692
0.0854939
3856
0.0853907
3829
0.0852877
3837
0.0851849
3901
0.0850824
3965
0.08498
4374
0.0848779
4751
0.0847759
5062
0.0846742
4465
0.0845727
4108
0.0844714
3931
0.0843703
3792
0.0842694
3723
0.0841688
3801
0.0840683
3852
0.083968
3863
0.0838679
3806
0.0837681
3879
0.0836684
3773
0.083569
3807
0.0834697
3947
0.0833707
3800
0.0832718
3764
0.0831732
3949
0.0830747
3931
0.0829765
3902
0.0828784
3937
0.0827806
4000
0.0826829
3888
0.0825855
3875
0.0824882
4017
0.0823912
3965
0.0822943
3897
0.0821976
4025
0.0821012
3993
0.0820049
3941
0.0819088
4036
0.0818129
4007
0.0817172
4085
0.0816217
4073
0.0815264
3962
0.0814312
4204
0.0813363
4205
0.0812415
4595
0.081147
4416
0.0810526
4209
0.0809584
4166
0.0808644
4044
0.0807706
4108
0.080677
4103
0.0805835
4021
0.0804903
4202
0.0803972
4192
0.0803043
4095
0.0802116
4131
0.0801191
4202
0.0800268
4076
0.0799346
4266
0.0798427
4169
0.0797509
4180
0.0796593
4197
0.0795678
4302
0.0794766
4223
0.0793855
4290
0.0792946
4558
0.0792039
4518
0.0791134
4608
0.079023
4626
0.0789329
4421
0.0788429
4469
0.078753
4385
0.0786634
4143
0.0785739
4128
0.0784846
4074
0.0783955
4038
0.0783065
4218
0.0782177
3944
0.0781291
4129
0.0780407
4030
0.0779524
4068
0.0778643
4060
0.0777764
4630
0.0776886
5725
0.0776011
5535
0.0775136
7108
0.0774264
5949
0.0773393
4257
0.0772524
3988
0.0771657
3974
0.0770791
4030
0.0769927
3971
0.0769064
4004
0.0768203
4121
0.0767344
4012
0.0766487
4136
0.0765631
4095
0.0764777
4068
0.0763924
4196
0.0763073
4165
0.0762224
4121
0.0761376
4129
0.076053
4288
0.0759685
4199
0.0758842
4102
0.0758001
4327
0.0757162
4439
0.0756323
4307
0.0755487
4263
0.0754652
4192
0.0753819
4272
0.0752987
4458
0.0752157
4363
0.0751328
4371
0.0750501
4519
0.0749675
4530
0.0748852
4457
0.0748029
4460
0.0747208
4533
0.0746389
4545
0.0745571
4649
0.0744755
4648
0.074394
4754
0.0743127
4794
0.0742315
4767
0.0741505
4842
0.0740697
4935
0.073989
4906
0.0739084
4804
0.073828
4826
0.0737477
4787
0.0736676
4695
0.0735877
4717
0.0735078
4870
0.0734282
4909
0.0733487
5026
0.0732693
5120
0.0731901
4971
0.073111
5169
0.0730321
5362
0.0729533
5464
0.0728746
5685
0.0727961
5697
0.0727178
5693
0.0726396
5595
0.0725615
5524
0.0724836
5443
0.0724059
5265
0.0723282
5336
0.0722507
5149
0.0721734
5183
0.0720962
5006
0.0720191
5188
0.0719422
5225
0.0718654
5300
0.0717888
5451
0.0717123
5970
0.0716359
6317
0.0715597
7014
0.0714836
7677
0.0714077
7418
0.0713319
6903
0.0712562
6539
0.0711807
5867
0.0711053
5366
0.07103
5208
0.0709549
4668
0.0708799
4637
0.0708051
4366
0.0707304
4261
0.0706558
4398
0.0705814
4244
0.0705071
4383
0.0704329
4724
0.0703588
5243
0.0702849
7507
0.0702112
15279
0.0701375
18826
0.070064
9391
0.0699906
4603
0.0699174
3500
0.0698443
3218
0.0697713
2959
0.0696984
2828
0.0696257
2790
0.0695531
2708
0.0694807
2631
0.0694083
2834
0.0693361
2810
0.0692641
2837
0.0691921
2947
0.0691203
2931
0.0690486
3061
0.068977
3284
0.0689056
3203
0.0688343
3156
0.0687631
2978
0.0686921
2943
0.0686211
2877
0.0685503
2690
0.0684796
2635
0.0684091
2617
0.0683386
2556
0.0682683
2527
0.0681982
2595
0.0681281
2660
0.0680582
2837
0.0679883
3139
0.0679187
3518
0.0678491
4123
0.0677796
4541
0.0677103
4637
0.0676411
4062
0.067572
3443
0.0675031
2974
0.0674342
2580
0.0673655
2297
0.0672969
2106
0.0672284
1893
0.0671601
1769
0.0670918
1659
0.0670237
1529
0.0669557
1436
0.0668878
1425
0.06682
1525
0.0667524
1613
0.0666849
2623
0.0666174
8707
0.0665501
17764
0.066483
7139
0.0664159
850
0.0663489
454
0.0662821
430
0.0662154
317
0.0661488
324
0.0660823
276
0.0660159
255
0.0659496
268
0.0658835
265
0.0658175
247
0.0657515
255
0.0656857
248
0.06562
273
0.0655545
248
0.065489
247
0.0654236
281
0.0653584
264
0.0652932
258
0.0652282
225
0.0651633
287
0.0650985
275
0.0650338
278
0.0649692
268
0.0649048
242
0.0648404
255
0.0647761
253
0.064712
294
0.064648
278
0.064584
270
0.0645202
268
0.0644565
232
0.0643929
252
0.0643294
286
0.064266
285
0.0642027
320
0.0641396
310
0.0640765
326
0.0640135
305
0.0639507
334
0.0638879
314
0.0638253
316
0.0637628
305
0.0637003
298
0.063638
307
0.0635758
307
0.0635136
293
0.0634516
331
0.0633897
303
0.0633279
292
0.0632662
337
0.0632046
323
0.0631431
346
0.0630817
348
0.0630204
361
0.0629592
367
0.0628981
330
0.0628371
353
0.0627762
404
0.0627155
370
0.0626548
400
0.0625942
339
0.0625337
370
0.0624733
360
0.062413
404
0.0623528
344
0.0622928
355
0.0622328
316
0.0621729
354
0.0621131
387
0.0620534
393
0.0619938
408
0.0619343
466
0.0618749
458
0.0618156
482
0.0617564
583
0.0616973
590
0.0616383
390
0.0615794
371
0.0615206
318
0.0614619
302
0.0614032
292
0.0613447
259
0.0612863
262
0.0612279
220
0.0611697
280
0.0611115
359
0.0610535
411
0.0609955
638
0.0609377
754
0.0608799
582
0.0608222
451
0.0607647
377
0.0607072
365
0.0606498
314
0.0605925
349
0.0605353
340
0.0604781
249
0.0604211
97
0.0603642
17
0.0603073
Fresh bulk-edge, ion etched 20sec at 3KV
n-Si<110> CZ  Mitsubishi lot# 280292-00-417 90TOA
2003
5
10
14
37
52
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.7
1
0
0
1000
2000
55
0
data_2
data_2
-1
Binding energy
eV
40
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
5
4.00E-06
0
0
0
0
1002
0
1395
0.059744
0.0626548
629
0.0626548
699
0.0626487
613
0.0626426
614
0.0626366
636
0.0626305
615
0.0626245
612
0.0626184
604
0.0626124
592
0.0626063
613
0.0626002
649
0.0625942
608
0.0625881
619
0.0625821
607
0.062576
674
0.06257
618
0.0625639
595
0.0625579
589
0.0625518
627
0.0625458
616
0.0625397
612
0.0625337
578
0.0625277
621
0.0625216
620
0.0625156
590
0.0625095
598
0.0625035
594
0.0624975
628
0.0624914
573
0.0624854
644
0.0624793
542
0.0624733
619
0.0624673
593
0.0624612
553
0.0624552
567
0.0624492
619
0.0624432
562
0.0624371
564
0.0624311
621
0.0624251
575
0.0624191
566
0.062413
566
0.062407
591
0.062401
557
0.062395
574
0.0623889
604
0.0623829
565
0.0623769
572
0.0623709
552
0.0623649
570
0.0623589
592
0.0623528
518
0.0623468
583
0.0623408
565
0.0623348
569
0.0623288
526
0.0623228
606
0.0623168
550
0.0623108
557
0.0623048
554
0.0622988
562
0.0622928
552
0.0622868
535
0.0622807
545
0.0622747
577
0.0622687
542
0.0622627
562
0.0622568
591
0.0622508
528
0.0622448
535
0.0622388
596
0.0622328
536
0.0622268
586
0.0622208
603
0.0622148
610
0.0622088
554
0.0622028
619
0.0621968
586
0.0621908
641
0.0621848
629
0.0621789
587
0.0621729
566
0.0621669
539
0.0621609
588
0.0621549
562
0.062149
554
0.062143
570
0.062137
581
0.062131
587
0.062125
610
0.0621191
541
0.0621131
537
0.0621071
594
0.0621011
569
0.0620952
595
0.0620892
582
0.0620832
601
0.0620773
565
0.0620713
596
0.0620653
604
0.0620594
571
0.0620534
621
0.0620474
603
0.0620415
546
0.0620355
605
0.0620295
621
0.0620236
628
0.0620176
590
0.0620117
651
0.0620057
604
0.0619998
614
0.0619938
588
0.0619879
604
0.0619819
671
0.0619759
661
0.06197
669
0.061964
643
0.0619581
626
0.0619521
647
0.0619462
699
0.0619403
662
0.0619343
635
0.0619284
704
0.0619224
687
0.0619165
735
0.0619105
715
0.0619046
713
0.0618987
715
0.0618927
712
0.0618868
695
0.0618808
700
0.0618749
699
0.061869
739
0.061863
700
0.0618571
766
0.0618512
712
0.0618453
755
0.0618393
799
0.0618334
742
0.0618275
730
0.0618215
749
0.0618156
741
0.0618097
766
0.0618038
731
0.0617978
739
0.0617919
736
0.061786
720
0.0617801
756
0.0617742
761
0.0617682
728
0.0617623
771
0.0617564
770
0.0617505
747
0.0617446
799
0.0617387
810
0.0617328
778
0.0617268
810
0.0617209
834
0.061715
850
0.0617091
877
0.0617032
913
0.0616973
904
0.0616914
984
0.0616855
931
0.0616796
974
0.0616737
1059
0.0616678
1080
0.0616619
1087
0.061656
1095
0.0616501
1135
0.0616442
1071
0.0616383
1047
0.0616324
1027
0.0616265
1071
0.0616206
1004
0.0616147
986
0.0616088
908
0.0616029
922
0.061597
850
0.0615912
803
0.0615853
751
0.0615794
751
0.0615735
742
0.0615676
730
0.0615617
699
0.0615558
656
0.06155
662
0.0615441
613
0.0615382
638
0.0615323
637
0.0615264
636
0.0615206
592
0.0615147
578
0.0615088
593
0.0615029
577
0.0614971
536
0.0614912
547
0.0614853
568
0.0614795
523
0.0614736
607
0.0614677
590
0.0614619
542
0.061456
558
0.0614501
530
0.0614443
530
0.0614384
551
0.0614325
472
0.0614267
541
0.0614208
568
0.0614149
516
0.0614091
526
0.0614032
522
0.0613974
493
0.0613915
494
0.0613857
484
0.0613798
470
0.061374
527
0.0613681
444
0.0613622
467
0.0613564
495
0.0613506
480
0.0613447
484
0.0613389
475
0.061333
471
0.0613272
461
0.0613213
438
0.0613155
422
0.0613096
429
0.0613038
458
0.0612979
407
0.0612921
432
0.0612863
418
0.0612804
418
0.0612746
479
0.0612688
397
0.0612629
420
0.0612571
401
0.0612513
390
0.0612454
413
0.0612396
388
0.0612338
400
0.0612279
407
0.0612221
402
0.0612163
389
0.0612105
362
0.0612046
416
0.0611988
377
0.061193
382
0.0611872
388
0.0611813
404
0.0611755
363
0.0611697
360
0.0611639
365
0.0611581
405
0.0611522
447
0.0611464
426
0.0611406
366
0.0611348
415
0.061129
424
0.0611232
420
0.0611174
441
0.0611115
417
0.0611057
404
0.0610999
434
0.0610941
455
0.0610883
450
0.0610825
495
0.0610767
426
0.0610709
481
0.0610651
508
0.0610593
475
0.0610535
479
0.0610477
472
0.0610419
503
0.0610361
508
0.0610303
530
0.0610245
559
0.0610187
572
0.0610129
614
0.0610071
539
0.0610013
602
0.0609955
597
0.0609897
636
0.060984
657
0.0609782
697
0.0609724
700
0.0609666
715
0.0609608
756
0.060955
798
0.0609492
836
0.0609435
858
0.0609377
879
0.0609319
921
0.0609261
960
0.0609203
1017
0.0609146
1036
0.0609088
1083
0.060903
1158
0.0608972
1203
0.0608915
1258
0.0608857
1299
0.0608799
1234
0.0608741
1305
0.0608684
1395
0.0608626
1358
0.0608568
1325
0.0608511
1357
0.0608453
1324
0.0608395
1300
0.0608338
1251
0.060828
1184
0.0608222
1112
0.0608165
1097
0.0608107
1092
0.0608049
977
0.0607992
985
0.0607934
907
0.0607877
907
0.0607819
830
0.0607762
824
0.0607704
804
0.0607647
779
0.0607589
740
0.0607531
720
0.0607474
796
0.0607416
755
0.0607359
713
0.0607301
714
0.0607244
713
0.0607187
716
0.0607129
730
0.0607072
676
0.0607014
657
0.0606957
674
0.0606899
688
0.0606842
644
0.0606785
632
0.0606727
658
0.060667
593
0.0606612
618
0.0606555
632
0.0606498
573
0.060644
599
0.0606383
564
0.0606326
564
0.0606268
579
0.0606211
591
0.0606154
554
0.0606096
537
0.0606039
588
0.0605982
580
0.0605925
492
0.0605867
566
0.060581
511
0.0605753
543
0.0605696
556
0.0605639
543
0.0605581
522
0.0605524
507
0.0605467
552
0.060541
566
0.0605353
582
0.0605295
546
0.0605238
526
0.0605181
597
0.0605124
580
0.0605067
567
0.060501
564
0.0604953
558
0.0604896
580
0.0604838
566
0.0604781
565
0.0604724
514
0.0604667
514
0.060461
523
0.0604553
536
0.0604496
518
0.0604439
495
0.0604382
488
0.0604325
564
0.0604268
490
0.0604211
482
0.0604154
475
0.0604097
432
0.060404
414
0.0603983
379
0.0603926
336
0.0603869
328
0.0603813
297
0.0603756
267
0.0603699
240
0.0603642
220
0.0603585
194
0.0603528
180
0.0603471
119
0.0603414
121
0.0603358
97
0.0603301
77
0.0603244
81
0.0603187
62
0.060313
53
0.0603073
24
0.0603017
21
0.060296
36
0.0602903
28
0.0602846
20
0.060279
26
0.0602733
24
0.0602676
9
0.0602619
19
0.0602563
9
0.0602506
26
0.0602449
18
0.0602393
23
0.0602336
20
0.0602279
19
0.0602223
17
0.0602166
12
0.0602109
17
0.0602053
23
0.0601996
13
0.0601939
13
0.0601883
15
0.0601826
10
0.060177
9
0.0601713
13
0.0601656
7
0.06016
9
0.0601543
11
0.0601487
13
0.060143
9
0.0601374
11
0.0601317
18
0.0601261
12
0.0601204
11
0.0601148
10
0.0601091
17
0.0601035
8
0.0600978
11
0.0600922
9
0.0600865
10
0.0600809
9
0.0600753
8
0.0600696
5
0.060064
8
0.0600583
15
0.0600527
11
0.0600471
5
0.0600414
9
0.0600358
9
0.0600302
10
0.0600245
9
0.0600189
9
0.0600133
14
0.0600076
11
0.060002
6
0.0599964
14
0.0599907
13
0.0599851
3
0.0599795
11
0.0599738
9
0.0599682
10
0.0599626
8
0.059957
7
0.0599514
8
0.0599457
4
0.0599401
9
0.0599345
7
0.0599289
8
0.0599233
6
0.0599176
9
0.059912
7
0.0599064
7
0.0599008
9
0.0598952
6
0.0598896
6
0.059884
0
0.0598783
6
0.0598727
7
0.0598671
10
0.0598615
6
0.0598559
8
0.0598503
7
0.0598447
9
0.0598391
4
0.0598335
9
0.0598279
6
0.0598223
14
0.0598167
9
0.0598111
5
0.0598055
9
0.0597999
5
0.0597943
6
0.0597887
3
0.0597831
7
0.0597775
14
0.0597719
9
0.0597663
4
0.0597607
9
0.0597551
6
0.0597495
4
0.059744
Fresh bulk-edge, ion etched 20sec at 3KV
n-Si<110> CZ  Mitsubishi lot# 280292-00-417 90TOA
2003
5
10
14
37
53
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.05
1
0
0
1000
2000
55
0
data_3
data_3
-1
Binding energy
eV
295
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
3
4.00E-06
0
0
0
0
802
0
269
0.125986
0.128421
50
0.128421
35
0.128414
50
0.128408
63
0.128402
87
0.128396
73
0.12839
83
0.128383
33
0.128377
82
0.128371
60
0.128365
66
0.128359
59
0.128352
88
0.128346
63
0.12834
64
0.128334
41
0.128328
121
0.128321
36
0.128315
128
0.128309
54
0.128303
81
0.128297
30
0.128291
72
0.128284
26
0.128278
111
0.128272
100
0.128266
136
0.12826
6
0.128253
58
0.128247
91
0.128241
37
0.128235
70
0.128229
109
0.128223
66
0.128216
99
0.12821
89
0.128204
80
0.128198
57
0.128192
111
0.128185
78
0.128179
70
0.128173
95
0.128167
60
0.128161
72
0.128155
35
0.128148
66
0.128142
63
0.128136
135
0.12813
64
0.128124
115
0.128118
112
0.128111
64
0.128105
49
0.128099
74
0.128093
145
0.128087
77
0.128081
65
0.128074
90
0.128068
57
0.128062
120
0.128056
79
0.12805
78
0.128044
130
0.128037
47
0.128031
65
0.128025
92
0.128019
45
0.128013
41
0.128007
69
0.128
88
0.127994
40
0.127988
47
0.127982
105
0.127976
115
0.12797
71
0.127963
84
0.127957
88
0.127951
26
0.127945
48
0.127939
83
0.127933
99
0.127927
86
0.12792
79
0.127914
0
0.127908
53
0.127902
68
0.127896
30
0.12789
98
0.127884
55
0.127877
60
0.127871
59
0.127865
63
0.127859
86
0.127853
94
0.127847
122
0.12784
52
0.127834
77
0.127828
44
0.127822
57
0.127816
48
0.12781
25
0.127804
79
0.127797
67
0.127791
96
0.127785
94
0.127779
73
0.127773
43
0.127767
112
0.127761
79
0.127755
45
0.127748
62
0.127742
68
0.127736
59
0.12773
35
0.127724
94
0.127718
36
0.127712
76
0.127705
61
0.127699
74
0.127693
90
0.127687
56
0.127681
87
0.127675
25
0.127669
90
0.127663
66
0.127656
16
0.12765
65
0.127644
75
0.127638
87
0.127632
42
0.127626
88
0.12762
61
0.127614
46
0.127607
115
0.127601
85
0.127595
51
0.127589
38
0.127583
78
0.127577
63
0.127571
98
0.127565
88
0.127558
94
0.127552
53
0.127546
61
0.12754
81
0.127534
77
0.127528
108
0.127522
100
0.127516
51
0.127509
76
0.127503
106
0.127497
64
0.127491
62
0.127485
143
0.127479
94
0.127473
87
0.127467
116
0.127461
102
0.127454
67
0.127448
70
0.127442
103
0.127436
106
0.12743
79
0.127424
86
0.127418
79
0.127412
35
0.127406
111
0.127399
92
0.127393
154
0.127387
81
0.127381
62
0.127375
67
0.127369
94
0.127363
97
0.127357
128
0.127351
72
0.127345
89
0.127338
73
0.127332
111
0.127326
117
0.12732
114
0.127314
95
0.127308
102
0.127302
133
0.127296
96
0.12729
122
0.127284
108
0.127277
53
0.127271
78
0.127265
98
0.127259
51
0.127253
95
0.127247
107
0.127241
101
0.127235
178
0.127229
86
0.127223
136
0.127217
158
0.12721
141
0.127204
112
0.127198
133
0.127192
118
0.127186
171
0.12718
155
0.127174
190
0.127168
160
0.127162
176
0.127156
146
0.12715
136
0.127144
156
0.127137
107
0.127131
151
0.127125
114
0.127119
121
0.127113
115
0.127107
127
0.127101
160
0.127095
114
0.127089
57
0.127083
121
0.127077
112
0.127071
141
0.127065
121
0.127058
143
0.127052
109
0.127046
140
0.12704
121
0.127034
147
0.127028
159
0.127022
194
0.127016
159
0.12701
194
0.127004
233
0.126998
233
0.126992
248
0.126986
226
0.12698
244
0.126973
241
0.126967
245
0.126961
217
0.126955
184
0.126949
269
0.126943
203
0.126937
190
0.126931
216
0.126925
150
0.126919
203
0.126913
179
0.126907
185
0.126901
187
0.126895
85
0.126889
103
0.126883
148
0.126876
139
0.12687
111
0.126864
93
0.126858
106
0.126852
63
0.126846
100
0.12684
98
0.126834
68
0.126828
81
0.126822
141
0.126816
67
0.12681
115
0.126804
105
0.126798
120
0.126792
119
0.126786
90
0.12678
82
0.126774
141
0.126768
94
0.126761
66
0.126755
112
0.126749
106
0.126743
78
0.126737
105
0.126731
62
0.126725
56
0.126719
69
0.126713
93
0.126707
74
0.126701
81
0.126695
115
0.126689
105
0.126683
116
0.126677
75
0.126671
88
0.126665
108
0.126659
89
0.126653
102
0.126647
76
0.126641
106
0.126635
78
0.126629
60
0.126622
101
0.126616
75
0.12661
83
0.126604
97
0.126598
113
0.126592
43
0.126586
164
0.12658
70
0.126574
127
0.126568
100
0.126562
135
0.126556
133
0.12655
121
0.126544
46
0.126538
78
0.126532
76
0.126526
141
0.12652
96
0.126514
110
0.126508
80
0.126502
79
0.126496
175
0.12649
93
0.126484
92
0.126478
105
0.126472
78
0.126466
79
0.12646
108
0.126454
105
0.126448
84
0.126442
136
0.126436
41
0.12643
174
0.126424
124
0.126418
175
0.126412
152
0.126406
129
0.1264
118
0.126394
109
0.126388
130
0.126381
115
0.126375
116
0.126369
115
0.126363
136
0.126357
97
0.126351
52
0.126345
128
0.126339
70
0.126333
42
0.126327
112
0.126321
158
0.126315
119
0.126309
67
0.126303
98
0.126297
142
0.126291
108
0.126285
62
0.126279
140
0.126273
146
0.126267
110
0.126261
118
0.126255
157
0.126249
127
0.126243
100
0.126237
121
0.126231
78
0.126225
122
0.126219
66
0.126213
78
0.126207
109
0.126201
76
0.126195
114
0.126189
59
0.126183
94
0.126177
126
0.126171
127
0.126165
95
0.126159
137
0.126153
130
0.126147
67
0.126141
117
0.126135
160
0.126129
109
0.126123
101
0.126117
109
0.126111
114
0.126105
164
0.126099
85
0.126093
117
0.126087
132
0.126081
98
0.126075
119
0.126069
78
0.126063
138
0.126058
56
0.126052
96
0.126046
56
0.12604
64
0.126034
160
0.126028
88
0.126022
68
0.126016
133
0.12601
57
0.126004
124
0.125998
203
0.125992
54
0.125986
Fresh bulk-edge, ion etched 20sec at 3KV
n-Si<110> CZ  Mitsubishi lot# 280292-00-417 90TOA
2003
5
10
14
37
53
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.05
1
0
0
1000
2000
55
0
data_4
data_4
-1
Binding energy
eV
542
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
3
4.00E-06
0
0
0
0
802
0
462
0.163751
0.167745
73
0.167745
51
0.167735
87
0.167724
99
0.167714
10
0.167704
67
0.167694
100
0.167684
75
0.167673
22
0.167663
73
0.167653
32
0.167643
78
0.167633
53
0.167622
20
0.167612
0
0.167602
104
0.167592
69
0.167582
108
0.167571
63
0.167561
97
0.167551
80
0.167541
127
0.167531
50
0.167521
54
0.16751
61
0.1675
68
0.16749
40
0.16748
84
0.16747
48
0.167459
10
0.167449
63
0.167439
48
0.167429
121
0.167419
116
0.167409
103
0.167398
21
0.167388
77
0.167378
53
0.167368
96
0.167358
54
0.167348
61
0.167337
52
0.167327
76
0.167317
101
0.167307
93
0.167297
122
0.167287
61
0.167276
110
0.167266
40
0.167256
74
0.167246
69
0.167236
92
0.167226
74
0.167216
96
0.167205
45
0.167195
36
0.167185
114
0.167175
116
0.167165
58
0.167155
124
0.167144
84
0.167134
70
0.167124
70
0.167114
84
0.167104
53
0.167094
76
0.167084
89
0.167074
44
0.167063
114
0.167053
63
0.167043
51
0.167033
62
0.167023
27
0.167013
34
0.167003
70
0.166992
11
0.166982
85
0.166972
68
0.166962
69
0.166952
74
0.166942
64
0.166932
45
0.166922
89
0.166911
84
0.166901
92
0.166891
67
0.166881
116
0.166871
82
0.166861
127
0.166851
17
0.166841
26
0.166831
87
0.16682
59
0.16681
39
0.1668
81
0.16679
64
0.16678
109
0.16677
66
0.16676
85
0.16675
61
0.16674
104
0.16673
75
0.166719
65
0.166709
70
0.166699
53
0.166689
92
0.166679
60
0.166669
59
0.166659
65
0.166649
102
0.166639
33
0.166629
88
0.166619
80
0.166609
93
0.166598
118
0.166588
69
0.166578
88
0.166568
111
0.166558
103
0.166548
79
0.166538
62
0.166528
49
0.166518
89
0.166508
62
0.166498
88
0.166488
128
0.166478
55
0.166467
106
0.166457
75
0.166447
61
0.166437
59
0.166427
48
0.166417
63
0.166407
81
0.166397
56
0.166387
39
0.166377
112
0.166367
82
0.166357
66
0.166347
94
0.166337
80
0.166327
80
0.166317
106
0.166307
117
0.166297
75
0.166286
48
0.166276
128
0.166266
129
0.166256
89
0.166246
76
0.166236
97
0.166226
79
0.166216
111
0.166206
73
0.166196
76
0.166186
91
0.166176
64
0.166166
143
0.166156
75
0.166146
105
0.166136
88
0.166126
99
0.166116
126
0.166106
116
0.166096
58
0.166086
130
0.166076
91
0.166066
117
0.166056
147
0.166046
94
0.166036
139
0.166026
152
0.166016
122
0.166006
119
0.165996
207
0.165986
162
0.165976
206
0.165966
155
0.165956
189
0.165946
223
0.165936
211
0.165926
214
0.165916
233
0.165906
277
0.165896
277
0.165886
307
0.165876
264
0.165866
266
0.165856
394
0.165846
312
0.165836
367
0.165826
359
0.165816
399
0.165806
370
0.165796
462
0.165786
438
0.165776
435
0.165766
405
0.165756
447
0.165746
453
0.165736
395
0.165726
443
0.165716
381
0.165706
403
0.165696
426
0.165686
352
0.165676
399
0.165666
427
0.165656
362
0.165646
436
0.165636
422
0.165626
432
0.165616
407
0.165606
368
0.165596
378
0.165586
378
0.165576
321
0.165566
276
0.165556
297
0.165546
316
0.165536
278
0.165526
186
0.165516
243
0.165506
161
0.165496
145
0.165486
190
0.165476
104
0.165467
157
0.165457
81
0.165447
127
0.165437
121
0.165427
113
0.165417
119
0.165407
74
0.165397
111
0.165387
97
0.165377
102
0.165367
52
0.165357
20
0.165347
115
0.165337
98
0.165327
46
0.165317
47
0.165307
91
0.165297
71
0.165288
90
0.165278
58
0.165268
79
0.165258
69
0.165248
100
0.165238
86
0.165228
97
0.165218
103
0.165208
64
0.165198
89
0.165188
112
0.165178
77
0.165168
69
0.165159
40
0.165149
64
0.165139
105
0.165129
76
0.165119
37
0.165109
44
0.165099
26
0.165089
84
0.165079
47
0.165069
48
0.165059
113
0.165049
73
0.16504
87
0.16503
82
0.16502
71
0.16501
121
0.165
53
0.16499
99
0.16498
64
0.16497
32
0.16496
73
0.16495
66
0.164941
60
0.164931
22
0.164921
104
0.164911
46
0.164901
58
0.164891
65
0.164881
84
0.164871
37
0.164861
106
0.164852
64
0.164842
51
0.164832
120
0.164822
65
0.164812
28
0.164802
73
0.164792
62
0.164782
54
0.164773
14
0.164763
16
0.164753
76
0.164743
76
0.164733
80
0.164723
15
0.164713
78
0.164703
39
0.164694
93
0.164684
63
0.164674
61
0.164664
48
0.164654
71
0.164644
54
0.164634
95
0.164625
53
0.164615
47
0.164605
114
0.164595
115
0.164585
112
0.164575
112
0.164565
102
0.164556
59
0.164546
43
0.164536
74
0.164526
65
0.164516
51
0.164506
60
0.164496
42
0.164487
81
0.164477
96
0.164467
90
0.164457
67
0.164447
74
0.164437
50
0.164428
66
0.164418
119
0.164408
75
0.164398
42
0.164388
86
0.164378
57
0.164369
78
0.164359
31
0.164349
88
0.164339
72
0.164329
88
0.164319
73
0.16431
94
0.1643
60
0.16429
69
0.16428
78
0.16427
82
0.164261
34
0.164251
70
0.164241
46
0.164231
57
0.164221
101
0.164211
70
0.164202
96
0.164192
67
0.164182
51
0.164172
61
0.164162
68
0.164153
101
0.164143
63
0.164133
85
0.164123
113
0.164113
29
0.164104
90
0.164094
84
0.164084
80
0.164074
38
0.164064
62
0.164055
86
0.164045
80
0.164035
59
0.164025
77
0.164015
58
0.164006
20
0.163996
96
0.163986
50
0.163976
68
0.163966
108
0.163957
78
0.163947
68
0.163937
80
0.163927
64
0.163918
78
0.163908
14
0.163898
58
0.163888
31
0.163878
129
0.163869
53
0.163859
22
0.163849
24
0.163839
88
0.16383
89
0.16382
93
0.16381
52
0.1638
84
0.163791
77
0.163781
34
0.163771
55
0.163761
91
0.163751
Fresh bulk-edge, ion etched 20sec at 3KV
n-Si<110> CZ  Mitsubishi lot# 280292-00-417 90TOA
2003
5
10
14
37
53
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.05
1
0
0
1000
2000
55
0
data_5
data_5
-1
Binding energy
eV
107
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
10
4.00E-06
0
0
0
0
402
186
16613
0.107612
0.10851
900
0.10851
934
0.108505
937
0.108501
910
0.108496
931
0.108492
910
0.108487
869
0.108483
862
0.108478
882
0.108473
932
0.108469
881
0.108464
838
0.10846
897
0.108455
853
0.108451
880
0.108446
858
0.108442
833
0.108437
891
0.108433
911
0.108428
897
0.108424
868
0.108419
830
0.108415
887
0.10841
884
0.108406
886
0.108401
861
0.108397
883
0.108392
918
0.108388
843
0.108383
856
0.108379
831
0.108374
896
0.10837
833
0.108365
861
0.108361
832
0.108356
871
0.108352
812
0.108347
809
0.108343
886
0.108338
880
0.108334
884
0.108329
852
0.108325
839
0.10832
834
0.108315
815
0.108311
814
0.108306
875
0.108302
791
0.108297
842
0.108293
871
0.108288
843
0.108284
835
0.108279
849
0.108275
831
0.10827
846
0.108266
871
0.108261
879
0.108257
805
0.108252
813
0.108248
908
0.108243
858
0.108239
879
0.108234
804
0.10823
834
0.108225
804
0.108221
865
0.108216
844
0.108212
781
0.108207
781
0.108203
789
0.108198
788
0.108194
836
0.108189
835
0.108185
851
0.10818
884
0.108176
813
0.108171
833
0.108167
802
0.108162
780
0.108158
765
0.108153
799
0.108149
783
0.108144
846
0.10814
819
0.108135
856
0.108131
882
0.108126
832
0.108122
845
0.108118
758
0.108113
785
0.108109
839
0.108104
810
0.1081
755
0.108095
785
0.108091
831
0.108086
814
0.108082
833
0.108077
794
0.108073
830
0.108068
824
0.108064
844
0.108059
785
0.108055
846
0.10805
863
0.108046
831
0.108041
866
0.108037
918
0.108032
891
0.108028
918
0.108023
987
0.108019
999
0.108014
966
0.10801
1011
0.108005
1106
0.108001
1165
0.107996
1127
0.107992
1229
0.107987
1281
0.107983
1436
0.107978
1530
0.107974
1661
0.107969
1767
0.107965
1893
0.107961
2137
0.107956
2306
0.107952
2528
0.107947
2938
0.107943
3271
0.107938
3579
0.107934
4017
0.107929
4613
0.107925
5314
0.10792
5899
0.107916
6516
0.107911
7337
0.107907
8286
0.107902
8860
0.107898
9682
0.107893
10668
0.107889
11317
0.107884
11975
0.10788
12662
0.107875
13440
0.107871
13910
0.107867
14373
0.107862
15138
0.107858
15557
0.107853
15784
0.107849
15914
0.107844
16372
0.10784
16430
0.107835
16613
0.107831
16287
0.107826
15730
0.107822
15108
0.107817
14377
0.107813
13342
0.107808
12247
0.107804
11069
0.107799
9638
0.107795
8427
0.107791
7216
0.107786
6170
0.107782
5084
0.107777
4070
0.107773
3221
0.107768
2645
0.107764
2114
0.107759
1666
0.107755
1415
0.10775
1136
0.107746
951
0.107741
842
0.107737
691
0.107732
593
0.107728
500
0.107724
487
0.107719
443
0.107715
411
0.10771
371
0.107706
317
0.107701
325
0.107697
321
0.107692
316
0.107688
291
0.107683
317
0.107679
279
0.107675
303
0.10767
255
0.107666
249
0.107661
225
0.107657
214
0.107652
224
0.107648
220
0.107643
213
0.107639
209
0.107634
186
0.10763
212
0.107625
192
0.107621
201
0.107617
193
0.107612
Fresh bulk-edge, ion etched 20sec at 3KV
n-Si<110> CZ  Mitsubishi lot# 280292-00-417 90TOA
2003
5
10
14
37
54
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
29.68
1
0
0
1000
2000
55
0
data_6
data_6
-1
Binding energy
eV
107
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
10
4.00E-06
0
0
0
0
402
27
2815
0.143926
0.14497
139
0.14497
167
0.144964
135
0.144959
136
0.144954
150
0.144949
144
0.144943
155
0.144938
140
0.144933
125
0.144928
154
0.144922
133
0.144917
140
0.144912
150
0.144907
162
0.144901
153
0.144896
143
0.144891
138
0.144886
137
0.14488
158
0.144875
155
0.14487
150
0.144865
150
0.144859
149
0.144854
127
0.144849
139
0.144844
136
0.144838
143
0.144833
133
0.144828
133
0.144823
149
0.144817
158
0.144812
130
0.144807
125
0.144802
115
0.144796
133
0.144791
147
0.144786
128
0.144781
134
0.144775
126
0.14477
122
0.144765
153
0.14476
123
0.144754
140
0.144749
128
0.144744
146
0.144739
146
0.144734
127
0.144728
123
0.144723
117
0.144718
114
0.144713
138
0.144707
126
0.144702
164
0.144697
120
0.144692
160
0.144686
120
0.144681
128
0.144676
155
0.144671
135
0.144665
123
0.14466
138
0.144655
115
0.14465
138
0.144645
132
0.144639
131
0.144634
124
0.144629
136
0.144624
133
0.144618
119
0.144613
126
0.144608
124
0.144603
120
0.144597
126
0.144592
135
0.144587
119
0.144582
123
0.144577
108
0.144571
150
0.144566
134
0.144561
130
0.144556
118
0.14455
136
0.144545
154
0.14454
125
0.144535
134
0.14453
133
0.144524
126
0.144519
122
0.144514
122
0.144509
121
0.144503
131
0.144498
128
0.144493
137
0.144488
127
0.144483
120
0.144477
119
0.144472
138
0.144467
124
0.144462
138
0.144456
136
0.144451
122
0.144446
130
0.144441
142
0.144436
129
0.14443
143
0.144425
139
0.14442
133
0.144415
143
0.14441
162
0.144404
153
0.144399
135
0.144394
134
0.144389
158
0.144383
180
0.144378
160
0.144373
172
0.144368
191
0.144363
189
0.144357
214
0.144352
217
0.144347
248
0.144342
223
0.144337
286
0.144331
292
0.144326
317
0.144321
357
0.144316
417
0.144311
449
0.144305
550
0.1443
547
0.144295
652
0.14429
739
0.144285
842
0.144279
891
0.144274
1086
0.144269
1247
0.144264
1402
0.144259
1490
0.144253
1596
0.144248
1828
0.144243
1923
0.144238
2105
0.144233
2277
0.144227
2209
0.144222
2359
0.144217
2465
0.144212
2503
0.144207
2637
0.144201
2628
0.144196
2804
0.144191
2729
0.144186
2800
0.144181
2815
0.144175
2814
0.14417
2741
0.144165
2572
0.14416
2493
0.144155
2273
0.144149
2000
0.144144
1807
0.144139
1496
0.144134
1202
0.144129
1048
0.144123
791
0.144118
635
0.144113
487
0.144108
407
0.144103
319
0.144097
222
0.144092
166
0.144087
132
0.144082
129
0.144077
98
0.144071
84
0.144066
70
0.144061
53
0.144056
72
0.144051
47
0.144046
45
0.14404
43
0.144035
43
0.14403
33
0.144025
31
0.14402
44
0.144014
40
0.144009
41
0.144004
39
0.143999
35
0.143994
27
0.143988
44
0.143983
44
0.143978
31
0.143973
32
0.143968
34
0.143963
43
0.143957
41
0.143952
28
0.143947
31
0.143942
41
0.143937
37
0.143931
42
0.143926
end of experiment
